Aktív rezgési szigetelési platform áttekintése

STACIS ® A III egy rugalmas aktív rezgési szigetelő rendszer. A STACIS aktív rezgési szigetelő platform rendszere fejlett inerciális rezgésérzékelőkkel, fejlett vezérlési algoritmusokkal és piezoelektromos aktuátorokkal szűri a földi mozgást folyamatos méréssel, majd bővíti és csökkenti a piezoelektromos aktuátort a rezgés valós idejű megszüntetése érdekében.

A STACIS**, amelyet eredetileg a fejlett félvezetőgyárakban használt precíziós mikrográfiai, mérési és vizsgálati berendezések elszigetelésére terveztek, az ipari szabványos megoldássá vált ** érzékeny eszközök számára zajos környezetben, beleértve, de nem kizárólag, félvezetőgyárakat, hibaelemző laboratóriumokat, nanotechnológiai kutatásokat, nanogyártási létesítményeket és anyagkutatási központokat.

A STACIS III aktív rezgésszigetelő platformrendszer egy teljesen új, fejlesztett digitális vezérlőt tartalmaz, a DC-2020. Ez a teljesen új vezérlőrendszer új kétmagos processzorral, Ethernet és USB sorozatos portokkal rendelkezik az elülső és hátsó panelen, amely modern és könnyen használható grafikus felhasználói felületet (GUI) biztosít a felhasználóknak. A STACIS több száz sikeres telepítéssel rendelkezik világszerte, ideális szigetelési rendszer a rezgésre érzékeny eszközökre.

A STACIS III aktív rezgésszigetelő platformrendszer előnyei

A STACIS több százszor keményebb, mint a levegőszigetelő, és nincsenek a levegőszigetelő rendszerek korlátai. Nincs „puha” felfüggesztése, és az aktív levegőrendszertől eltérően a STACIS a belső aktív levegőszigetelő rendszerrel rendelkező szerszám alatt helyezhető el, így mindkét rendszer ** állapotban működik.

Az egyedülálló sorozatos kialakítás és a saját nagy erősségű piezoelektromos technológia 0,6 Hz***150 Hz széles aktív sávszélességet és 2 Hz-től 90%-os csökkentést**aktív szigetelést biztosít.

A STACIS III aktív rezgési szigetelő platformrendszer jellemzői

▪ ** Új, fejlesztett DC-2020 digitális vezérlő, amely könnyen használható grafikus felhasználói felületet kínál

▪ A szigetelés 0,6 Hz-től kezdődik, és 1 Hz-nél eléri a 40% *** 70% -os szigetelési arányt

▪ 2 Hz és magasabb frekvenciával, függőleges és vízszintes szigetelés nagyobb, mint 90%

▪ Csökkentse az infrastruktúra követelményeit és az építési költségeket, még nagyobb külső rezgési berendezések esetén is

▪ Hatékony szigetelési tartomány, 0,6 Hz-től 150 Hz-ig

▪ Számos felhasználó széles körű elismerése és elismerése

▪ 6 irányú szabadságfokú kemény szerelési tervezés, levegőfelfüggesztés nélkül

▪ Erős vezérlőrendszerek rendszeres újrakalibrálás nélkül

▪ point-of-use tervezés, amely zökkenőmentesen kompatibilis az ügyfél meglévő rezgési szigetelési rendszereivel

▪ A külső környezet változásával a rendszer automatikusan alkalmazkodik a különböző külső rezgésekhez

▪ A TMC statisztika ® Technológia használata piezoelektromos hajtóművek aktív csökkentése

▪ Digitális vezérlő és PC-alapú grafikus felhasználói felület (GUI)

▪ Az ügyfelek termékeinek termelésének, minőségének és teljesítményének növelése.

▪ Megfelel a RoHS szabványnak

▪ ** Széles aktív szigetelési sávszélesség, ** alacsony frekvenciás szigetelési hatás

▪ Aktív ahrzes rezgés eltávolítása ** elsősorban 0,6-6 Hz frekvenciasávon belüli szigetelés

▪ Becsapolható tervezés

▪ Aktív kemény szerelési szerkezet a puha felfüggesztés helyett, alacsony frekvenciás eltérés nélkül, aktív elemek merev rugóval kapcsolódnak

▪ A passzív rugó szűri el a STACIS érzékelők terhelési rezonanciáját, nagyon kevés hangolásra van szükség.

▪ Az impedancia nem egyeztethetősége miatt kompatibilis az eszköz belső izolátorával

▪ A terhelés akár 2000 kg

▪ Aktív rezgési szigetelési rendszerek a piacon **

Aktív rezgési szigetelési platform teljesítménye

4500 font (2045 kg) hasznos terhelés tesztelése VC-C (500 μm/s, 12,5 μm/s RMS) segítségével

Aktív rezgés szigetelő platform specifikációk

Teljesítmény specifikációk

STACIS felhasználók és alkalmazások

1. Mikroelektronika, félvezetők

▪ Chip-észlelés

▪ Mikrográfiai technológia

▪ Maszk kalibrálás

Tudományos kutatás, nanotechnológia

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. Lézeres állomás

▪ Élettudományok, gyógyszerkutatás

4. Ipari alkalmazások

▪ Precíziós feldolgozás

Miért válasszuk az aktív szigetelőrendszert?

▪ Erősen eltávolítja a földrezgést <1Hz-től, és a pneumatikus platform nem tud hatékony szigetelést végezni ebben az alacsony frekvenciában

▪ Minőség és termelékenység növelése

▪ Kisebb jellemzők képalkotási képessége

▪ Frontier kutatás

▪ Stabilisabb, mint a pneumatikus platform

▪ ** Megoldás a SEM szabványos helyszíni telepítési paramétereinek megfelelésére

▪ Az új laboratóriumi és kutatási berendezések mérnöki költségeinek alacsonyabbá tétele

Miért válassza a STACIS aktív rezgési szigetelőt?

▪ A tudósok szívében, hogy a lehető legszebb *** rengésmentes környezetet.

▪ Erős alacsony frekvenciás szigetelési rendszer a piacon.

▪ Jelenleg az összes SEM gyártó közzétette a telepítési paraméterek követelményeit, amelyeknek eleget kell tenniük az aktív rezgési szigetelési rendszerhez.

▪ A STACIS**, amelyet az 1990-es években találtak fel, több ezer aktív rezgési szigetelési rendszert fejlesztett ki, fejlesztett ki és telepített a TMC, amely megbízható megoldást kínál az aktív rezgési szigetelés ellenőrzésében.

A STACIS több százszor merevesebb, mint a pneumatikus elszigetelő

Az egyedülálló sorozatos kialakításának köszönhetően a zavarokra adott válaszként jelentősen csökkentett stabil idő ideális a gépgyártás, a dinamikus terhelés, a lézer vagy a független merev asztalok esetén, amelyekre fényforrást kell telepíteni.

Az iparágban az alábbi előnyök **

▪ A STACIS aktív szigetelési sávszélessége 0,6 Hz-150 Hz

▪ 6 szabadságfok aktív rezgés eltávolítása, 8-10dB rezgés 1 Hz-ben

▪ 2-3Hz-től 90% (20dB) szigetelés

Professzionális környezetvizsgálat

A telepítés előtti és utáni környezetvizsgálat, beleértve a rezgést, a mágneses mezőt és a hanghullámokat

2. A telepítés után a környezeti rendszer tanúsítása

▪ Tökéletes környezetvizsgálati szolgáltatások

▪ Szakmai környezeti jelentés készítése

▪ Rengés-, mágneses mező-, hanghullám- és érzékelési megoldások

▪ A TMC gyakorlati megoldásokat ajánl a felhasználóknak széles körű tapasztalata alapján

▪ Több mint 40 éves tapasztalat **

Fotók alkalmazása