Áttekintés

Félvezetőgyártó üzemek, nanotechnológiai központok, nanoüzemek és egyéb precíziós gyártási és kutatási központok gyakran kombinálják a tisztaszobákat az aktív hamis földi rendszerekkel, hogy megfeleljenek a bonyolult létesítmények követelményeinek (csővezetékek, kábelek, gázcsövek stb.) és szigorú tisztasági előírásokat tartsanak fenn. Ez a talaj nem alkalmas a rezgésre érzékeny gyártási, vizsgálati és mérési berendezésekre. A mozgó talaj nem biztosítja a szükséges csendes rezgési környezetet ezeknek az eszközöknek. A TMC Quiet Island innovatív megoldást kínál, ha az aktív földterület egy részét egy „csendes szigetre” váltja ki, amely rögzített az alábbi földszinten. A Quiet Island egy kompatibilis tisztaszoba platform tetejét és egy alkalmazás- és helyszínspecifikus támogató struktúrát tartalmaz.

Vibrációcsökkentés

A Quiet Island** főbb támogató elemei és alaptechnológiái a STACIS III aktív vibrációcsökkentő rendszerbe integrálódtak. Ez a merev típusú inerciális rezgés csökkentő támogató rendszer ideális bármilyen rezgés érzékeny eszköz számára, amely lehetővé teszi az ilyen eszközök magas színvonalú működését zajos környezetben. A STACIS III kompatibilis az automatizált lapka-feldolgozó eszközökkel, a nagy felbontású elektronszag-képalkotó eszközökkel, az ionsugár-maró eszközökkel és bármely passzív vagy aktív belső rezgési szigetelő rendszerrel rendelkező eszközökkel (lásd az aktív rezgési szigetelők aktív szigetelőkre történő halmozásáról szóló fehér könyvünket). Emellett széles frekvenciatartományon belüli rezgési szigetelést is biztosít. És a "kemény szerelés" kialakítása nagyon kemény, így a magasabb, könnyű szerszámok esetén nincsenek stabilitási problémák.

Cső és tartó

A STACIS rezgési szigetelők támasztásához használt rendkívül szilárd és tartós csőcsöveket a TMC tapasztalt mérnöki csapata tervezte, és ISO 9001 üzemünkben gyártották a magas szabványok és hegesztési tanúsítványok szerint. Minden csendes szigetet gondosan megtervezték, hogy alkalmas legyen a különböző tevékenységek felszíni magasságához, a talaj geometriájához és a szerszámméretekhez. A TMC több ezer készüléket telepített világszerte, amelyek több mint 200 különböző műszertípust támogatnak, és gazdag tudással és tapasztalattal rendelkezik a STACIS és az Ön létesítményének igényeinek megfelelő támogató szerkezetek tervezéséhez.

Mereg platform

A platform egy TMC által tervezett és gyártott 4 hüvelykes (100 mm) vastagságú acéllemez középlapból áll, amelyben az acéllemez egy könnyű, tömöríthetetlen, csökkenthető maganyag körül van rögzítve. A merev acéllemezek és a magok egy zökkenőmentes rozsdamentes acéllemezhez kapcsolódó epoxidgyanta rétegezési hatása rendkívül magas merevséget és szerkezeti csökkentést biztosít. A nagy keresztmetszetek és az acél tartalma nagyon magas általános merevséget eredményez. A tetején és az oldalán egy folyamatos, egységes rozsdamentes acél ház van a tisztaság, a szépség és az integritás érdekében. A TMC szükség szerint alkalmazásspecifikus platformokat tervez és gyárt, beleértve a vágásokat, a speciális alakokat, a rögzítő lyukakat és a függőgyűrű csavarokat.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

A Quiet Island előnyei

A STACIS - TMC Industry** aktív piezoelektromos rezgés-csökkentő technológiája, a „kemény szerelés” tervezése és a 0,6 Hz-től kezdő rezgés szigetelése kompatibilis a beépített szigetelőkkel.

Rugalmasság a moduláris, testreszabás és a hely áthelyezés terén – minden platform az ügyfél alkalmazásának megfelelően testreszabható, de a betonplatformoktól eltérően ezeket a platformokat könnyen lehet átkonfigurálni, ha a szerszámok vagy a talaj jellemzői megváltoznak.

Szakértelem - A TMC gazdag tapasztalattal rendelkezik a félvezetőgyártókkal, kutatóintézetekkel és ultra-precíziós OEM-kkel való együttműködésben. Ismerjük ügyfeleinket és igényeiket. Magunk tervezzük és gyártjuk.

Teljesítmény

A 24 hüvelykes, 40 hüvelykes x 60 hüvelykes Quiet Island 4 STACIS állomáson,
A talajról származó VC-C bemenet alatti átviteli mérés

specifikációk

Teljesítmény specifikációk

Izzolátortervezés, méretek, környezeti és hasznosítási követelmények

DC-2020 vezérlő specifikációk

Egyéb paraméterek

EgyébQuiet Island beállítása

A nagyméretű eszközök, amelyek nem rendelkeznek környezeti rezgési specifikációkkal, általában merev és stabil tartót igényelnek, amely elkülönül a mozgó talajtól. A merev Quiet Island ideális megoldás. A merev Quiet Island ugyanazon a nagy teljesítményű platform tetejével rendelkezik, és bármilyen magasságban, bármilyen földszint geometriájában és különböző szerszámméretben is testreszabható. A TMC különböző típusú pilléreket kínál a különböző igények kielégítéséhez, így moduláris, rugalmasan áthelyezhető és frissíthető megoldásokat alkot az eszközökre és üzemekre.

Fotók alkalmazása

Mivel telepítve a mi Quiet Island ® A földalatti platformokon lévő berendezések bonyolultsága, érzékenysége és értéke – nem hoztunk létre szabványos katalógust a megrendeléshezNem.

Úgy véljük, hogy minden platformot egyedi alkalmazásokra szabni kell. Az ajánlott megrendelési lépések a következők:

▪ Mondja meg, hogy melyik eszközt vagy eszközt szeretne elszigetelni. Mivel több ezer készüléket telepítettünk, valószínűleg már van olyan platformunk, amely megfelel az alkalmazás követelményeinek. Ezenkívül szoros kapcsolatban vagyunk a lépőgépek, a szabályozók, a SEM és más szerszámgyártókkal, így ismerjük az új méreteket, alakokat, súlyváltozásokat és a talajrizgási specifikációkat.

▪ Vagy olyan platformot szeretne, amely alkalmas a mozgó földi hálózati rendszerekhez. Az ügyfelek általában 47 x 47 hüvelykes (1190 x 1190 mm) platformot választanak a páros padlólapok helyett.

▪ Mondja el nekünk, hogy a tevékenységi talaj magasabb, mint a szilárd talaj.

▪ Kérjük, írjon le nekünk, vagy adjon meg egy illusztrációt, amely bármilyen lyukat mutat meg a föld alatti vagy acél gerenda / rács geometriájában.

▪ Kérjük, adjon meg nekünk földrezgési adatokat, vagy beszéljen velünk arról, hogyan tervezzük ezeket az adatokat.

▪ Figyelembe vegye az eszköz rezgési érzékenységét. Mereg, nem rezonanciás oszlopaink megfelelő támogatást nyújtanak számos eszközhöz. Az érzékenyebb alkalmazások levegő vagy piezoelektromos támogatást igényelnek