Az ICP eszköz karbantartásának célja:
1) az eszköz hibájának időben történő felfedezése;
2) az eszközök rejtett veszélyeinek ellenőrzése, időben felfedezése és megelőző intézkedések javaslata;
3) a műszer karbantartásával javítja a műszer érzékenységét és meghosszabbítja a műszer élettartamát;
4) növeli az eszköz stabilitását és biztosítja a vizsgálati adatok pontosságát;
Az ICP eszköz karbantartásának tartalma:
1) Tisztítsa meg az összes áramkör, ventilátor és műszer felületi por
2) Tisztítsa meg a porgálót, a porgálókamrát, a fénykönzőt és a fűtőcsövet
3) cserélje a hűtő keringési víz, tiszta csővezeték
4) vákuumcsövek csatlakozó, elektromagnetikus szelep kapcsolója tömítési ellenőrzése állítja be a fényszárok helyzetét
5) Vákuumszivattyú teljesítmény ellenőrzése, cseréje a szivattyú olaj, tömítési gyűrű, molekuláris szitó
6) Ellenőrizze, hogy nincs szivárgás az ICP és az áramkör megfelelőségének meghatározása
7) Ellenőrizze a műszer gáz, gáz érzékelő, tisztítás
8) RF magas frekvenciás generátor por eltávolítás karbantartás, vákuum fénykamera karbantartás
9) Felhasználói problémák megoldása